Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития.
Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее дальнейшего развития. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по специальности "Нанотехнология в электронике".
Название: Нанотехнология в электронике. Введение в специальность
Автор: Лозовский В.Н., Константинова Г.С., Лозовский С.В.
Издательство: Лань
ISBN: 978-5-8114-0827-6
Релиз выпущен: 2008
Страниц: 336
Язык: Русский
Формат: djvu
Размер файла: 27.2 Мб